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电子级硅烷系列

Electronic

grade

新蓝天股份编号:BOSIL-681

所属分类: 电子级硅烷系列

CAS NO: 681-84-5

包装规格: 塑料桶/铁桶/

产品净重: 吨桶或客户要求

外观颜色: 无色透明液体

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产品信息

化学名:四甲氧基硅烷(电子级)

CAS681-84-5

牌号:BOSIL-681

产品信息


四甲氧基硅烷

分子式:C4H12O4Si

分子量:152

产品特性

四甲氧基硅烷可以水解形成二氧化硅研磨粒子(硅溶胶),其分散性及选择性好,活性极强,易于处理过程清洗的废液,常用于硅、SiO2层间介电层的抛光。

四甲氧基硅烷的二氧化硅含量比四乙氧基硅烷的高,做成二氧化硅研磨粒子成本更低。

 

理化数据

性质

数值

外观

无色透明液体

纯度

99.5%

总阳离子含量

1ppm

总氯含量

0.5ppm

密度25

1.02±0.01g/ml

沸点760mmHg

122±1

折光率25

1.389±0.01

注:以上数据仅供参考,不能作为技术规格制定

产品应用

四甲氧基硅烷(电子级)可用作溶胶-凝胶反应中间体。

四甲氧基硅烷(电子级)可以做无氯或者超低氯的耐热材料。

四甲氧基硅烷(电子级)用作半导体行业制作高品质研磨粒子。

四甲氧基硅烷比正硅酸乙酯价格低,二氧化硅含量高,可以用于制备半导体CVD制程。

 

保存储存期

密封保存,保质期12个月。容器打开后应封好以防水汽进入产生水解。

包装

可用容器的大小型号可以向新蓝天处查询。

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