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电子级硅烷系列

Electronic

grade

新蓝天股份编号:BOSIL-781

所属分类: 电子级硅烷系列

CAS NO: 78-10-4

包装规格: 塑料桶/铁桶/

产品净重: 吨桶或客户要求

外观颜色: 无色透明液体

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产品信息

化学名:四乙氧基硅烷(电子级)

CAS78-10-4

牌号:BOSIL-781

产品信息

四乙氧基硅烷

分子式:C8H20O4Si

分子量:208.33

 

产品特性

电子级四乙氧基硅烷(TEOS),主要用于IC晶圆制造过程中的CVD制程,对其纯度要求非常严格,纯度需8N以上,各项杂质需小于1ppb,尤其是金属离子杂质(NaKMgFeCaAl),金属离子是电活性杂质,会降低沉积在半导体器件二氧化硅薄膜层绝缘性能,会导致微米级的电路互相联通,从而导致电路板报废。电子原料级四乙氧基硅烷,总阳离子含量和总氯含量极低,完全具备加工成电子级四乙氧基硅烷的条件。

 

理化数据

性质

数值

外观

无色透明液体

纯度

99.9%

密度25

0.94±0.01g/ml

总阳离子含量

1ppm

总氯含量

0.5ppm

沸点760mmHg

168

折光率20

1.382±0.01

注:以上数据仅供参考,不能作为技术规格制定

产品应用

四乙氧基硅烷(电子级)用于加工成电子级四乙氧基硅烷用于晶圆的制造。用于生成二氧化硅薄膜,是半导体、分立器件、微机电系统制造所需的电子化学品。

四乙氧基硅烷(电子级)用作半导体行业制作高品质研磨粒子。

四乙氧基硅烷(电子级)可以做无氯或者超低氯的耐热材料。

 

保存储存期

密封保存,保质期12个月。容器打开后应封好以防水汽进入产生水解。

包装

可用容器的大小型号可以向新蓝天处查询。

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