化学名：四乙氧基硅烷（电子级）

CAS：78-10-4

牌号：BOSIL-781

产品信息

四乙氧基硅烷

分子式：C₈H₂₀O₄Si

分子量：208.33

产品特性

电子级四乙氧基硅烷(TEOS)，主要用于IC晶圆制造过程中的CVD制程，对其纯度要求非常严格，纯度需8N以上，各项杂质需小于1个ppb，尤其是金属离子杂质(Na、K、Mg、Fe、Ca、Al等)，金属离子是电活性杂质，会降低沉积在半导体器件二氧化硅薄膜层绝缘性能，会导致微米级的电路互相联通，从而导致电路板报废。电子原料级四乙氧基硅烷，总阳离子含量和总氯含量极低，完全具备加工成电子级四乙氧基硅烷的条件。

理化数据

注：以上数据仅供参考，不能作为技术规格制定

产品应用

四乙氧基硅烷（电子级）用于加工成电子级四乙氧基硅烷用于晶圆的制造。用于生成二氧化硅薄膜，是半导体、分立器件、微机电系统制造所需的电子化学品。

四乙氧基硅烷（电子级）用作半导体行业制作高品质研磨粒子。

四乙氧基硅烷（电子级）可以做无氯或者超低氯的耐热材料。

保存储存期

密封保存，保质期12个月。容器打开后应封好以防水汽进入产生水解。

包装

可用容器的大小型号可以向新蓝天处查询。